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    60年代以前為第一階段，這一階段稱(chēng)為初級階段。在這一時(shí)期，人們自覺(jué)不自覺(jué)地利用電子技術(shù)的初步成果來(lái)完善機械產(chǎn)品的性能。特別是在第二次世界大戰期間，戰爭刺激了機械產(chǎn)品與電子技術(shù)的結合，這些機電結合的軍用技術(shù)，戰后轉為民用，對戰后經(jīng)濟的恢復起了積極的作用。那時(shí)研制和開(kāi)發(fā)從總體上看還處于自發(fā)狀態(tài)。由于當時(shí)電子技術(shù)的發(fā)展尚未達到一定水平，更不談光機電一體化技術(shù)了，機械技術(shù)與電子技術(shù)的結合還不可能廣泛和深入發(fā)展，已經(jīng)開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品也無(wú)法大量推廣。

    70年代至80年代為第二階段，可稱(chēng)為蓬勃發(fā)展階段。這一時(shí)期，計算機技術(shù)、控制技術(shù)、通信技術(shù)、機電一體化實(shí)訓裝置的發(fā)展，為機電一體化的發(fā)展奠定了技術(shù)基礎。大規模、超大規模集成電路和微型計算機的迅猛發(fā)展，為機電一體化的發(fā)展提供了充分的物質(zhì)基礎。伴隨著(zhù)微處理機的性能提高，為更高級的機電一體化產(chǎn)品所采用，典型的機電一體化產(chǎn)品如數控機床、光機電一體化實(shí)訓考核裝置、工業(yè)機器人和汽車(chē)的電子控制系統等。微機作為關(guān)鍵技術(shù)引入飛行器系統后，使機械—電子系統在高度控制、排氣控制、振動(dòng)控制和保險氣袋等方面獲得廣泛應用。信息技術(shù)驅使機械系統在不同程度上利用數據庫，如洗衣機和其他消費品，這樣，對光機電一體化系統設計方法的探索、成型和系統集成以及并行工程設計和控制的實(shí)施日顯重要。此外，光學(xué)也進(jìn)入了機電一體化，產(chǎn)生了“光機電一體化”的新領(lǐng)域。這個(gè)時(shí)期的特點(diǎn)是： mechatronics一詞首先在日本被普遍接受，大約到20世紀80年代末期在世界范圍內得到比較廣泛的承認；機電一體化技術(shù)和產(chǎn)品得到了極大發(fā)展；各國均開(kāi)始對機電一體化實(shí)驗室設備和產(chǎn)品給以很大的關(guān)注和支持。

    90年代后期，開(kāi)始了機電一體化技術(shù)向智能化方向邁進(jìn)的新階段，機電一體化進(jìn)入深入發(fā)展時(shí)期。一方面，光學(xué)、通信技術(shù)等進(jìn)入了光機電一體化時(shí)代，微細加工技術(shù)也在機電一體化中嶄露頭角，出現了光機電一體化和微機電一體化等新分支。進(jìn)入90年代，通信技術(shù)進(jìn)入了機電一體化，機器可像機器人系統那樣遙控，和虛擬、現實(shí)多媒體等技術(shù)緊密聯(lián)系的計算機控制的網(wǎng)絡(luò )化，機電一體化日益普及。有些機電一體化機械可兩用，有的在性能上更是多用途的，尤其是微傳感器和執行器技術(shù)的發(fā)展，和半導體技術(shù)以光刻為基礎的方法以及和傳統機電一體化微型化方法的結合，開(kāi)創(chuàng )了以精密工程和系統集成為特點(diǎn)的機電一體化新分支“微機電一體化”。雖然微細加工方法尚未成熟，但將逐漸成為集成控制系統的一個(gè)組成部分。另一方面，對光機電一體化系統設備的建模設計、分析和集成方法，對機電一體化的學(xué)科體系和發(fā)展趨勢都進(jìn)行了深入研究。同時(shí)，由于人工智能技術(shù)、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò )技術(shù)及光纖技術(shù)等領(lǐng)域取得的巨大進(jìn)步，為機電一體化技術(shù)開(kāi)辟了發(fā)展的廣闊天地。這些研究，將促使機電一體化進(jìn)一步建立完整的基礎和逐漸形成完整的科學(xué)體系,隨著(zhù)自動(dòng)化技術(shù)的發(fā)展而日益發(fā)展。

    我國從20世紀80年代初才開(kāi)始在這方面的研究和應用。國務(wù)院成立了機電一體化領(lǐng)導小組并將該技術(shù)列入“863計劃”中。在制定“九五”規劃和2010年發(fā)展綱要時(shí)充分考慮了國際上關(guān)于機電一體化技術(shù)的發(fā)展動(dòng)向和由此可能帶來(lái)的影響。許多大專(zhuān)院校、研究機構及一些大中型企業(yè)對這一技術(shù)的發(fā)展及應用做了大量的工作，取得了一定成果，但與日本等先進(jìn)國家相比仍有相當差距。

    機電一體化是集機械、電子、光學(xué)、控制、計算機、信息等多學(xué)科的交叉綜合，它的發(fā)展和進(jìn)步依賴(lài)并促進(jìn)相關(guān)技術(shù)的發(fā)展和進(jìn)步。因此，光機電一體化綜合實(shí)訓考核裝置正向著(zhù)智能化、模塊化、網(wǎng)絡(luò )化、微型化、綠色化、系統化的方向發(fā)展。

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